面在91年展开研发。
而在更晚一些的97年，英特尔感觉到了挑战193nm光源的的巨大难度，决定合作愚公移山，于是说服了当局，以公司形式发起了EUVLLC这样一个合作组织。
由英特尔和美能源牵头，集合了摩托、AMD、劳伦斯利弗莫尔、劳伦斯伯克利桑迪亚三个实验室，投资两亿美元集合几百位顶级科学家，从理论上验证EUV可能存在的技术问题。
当时，英特尔力邀ASML和尼康加入EUVLLC，但被当局阻扰，因为当局不乐意其它地区分享前沿科技。
最终结果是尼康……这个阿美小三的公司被排除在外，ASML做了一堆贡献许诺后被允许加入，另一家例外非美公司是德公司英飞凌。
EUVLLC在97年到03年六年间发表了几百篇论文，验证了EUV光刻机的可行性，然后解散。
单从这段上世纪末本世纪初的历史来看，在前沿科技领域进行海外收购……是多么多么不可能的事情！
这也是温良主导的博浪几乎从未设想这种可能性会发生的缘故，哪怕是应用科技领域，一旦涉及到关键技术，博浪的作风都是直接毫不犹豫的砸钱自主化。
因为拳打脚踢的全球收购绝无可能。
因为世界真相就是那么操蛋的多边摩擦。
因为各地当局远比任何人幻想中更懂得哪些科技技术的重要性，在科技行业的所谓捡漏……至多至多可能发生在同一地区内部！
事实上，全球所有能冒头的科技产品背后都有海量的资源支持，它本身的重要性天下皆知。
要不然怎么会有乔布斯被赶出苹果，有谷歌火速收购安卓，火速成立OHA？
重生捡漏？
呵。
连你花钱参与研究并贡献研究成果都不可能，还收购成品？
呵。
那些巨头级企业的并购壮大之旅，基本发生在同一地区内部，但凡跨地区的案例，都会被百般阻扰。
‘不太知名’的案例有AMAT通过杠杆收购公司KKR去收购小日的KokusaiElectric，来来回回的最终价约35亿美元，各地火速同意，然后……AMAT等了两年都没等到中国的同意。
比较知名的例子也有，英伟达想收购ARM，然后宣布失败。
ARM可还是一家从成立初期就打上了跨国合资标记的公司，股东有诺基亚、苹果等……
总之，早在十年前，EUV被论证了可行性。尽管面临无数个精密制造的难题，但ASML从未犹豫过，坚定的选择了去实现，06年推出原型，07年建造了10000平米的超级无尘室，10年出第一台研发用样机NXE3100。
而在刚刚过去的12年，ASML不得不发起一项客户投资计划，拿25%的股权请求客户投资继