内的误差,不得超过十亿分之一秒;距离上,每秒不能超过1纳米,并且还要设计一套‘偏差纠正’系统,只要误差累积过大,就会自动纠正,让系统长期稳定的运转下去”
“目前我们正在全力攻克控制系统,纠偏系统稍稍靠后,但也安排了团队进行攻关”
“当然如果从岛国进口的相关零件,很快能到我们手中,可能三个月内,我们就能实现击打频率突破2万次”
岛国?
三个月?
卫明摇头笑了笑,道:“缺什么零件,就交给我吧,我给你们捣鼓出来”
接着他连续捣鼓了三天时间
激光频率控制器
高灵敏距离感应器
还有这个什么器,那个什么装置,以及卫明叫不出专业名称的东西
三天内他一共搞了十几个
然后让蒲伟才他们,把这些装置,塞入到控制系统中,以极高精度要求,组装到了一起
再开启了试运行
“释放锡滴,初始频率每秒1滴”蒲伟才进行指挥说道
“开始释放”
“两次击打成功,摊平形状完美,激发效果完美!”
“增加释放频率”
“每秒50次试验成功”
“每秒500次试验成功!”
“每秒5150次试验成功!追平最高纪录”操作员声音微颤的道
“继续增加!往上加高一点!”
蒲伟才也开始激动了,这才第一次进行调试而已,居然就追平了上一套零件不断调试数百次创造的最高纪录?
“每秒5500次试验成功,创造新的纪录!”
“再加!”
每秒7000
每秒9000
每秒1万
……
一直加到每秒2万,满足使用频率要求
所有人都被震惊到麻木,依然是取得成功!
“再加,再往上加!”
每秒3万
每秒4万
每秒4万5
每秒5万!
“锡滴释放频率达到上限,特么还是取得成功!”操作员毫无形象的狂喊
“转化光强是额定光强的倍!”
向广林眼睛通红的大吼:“这意味着这台光刻机处理晶元的效率,至少艾思迈EUV的两倍以上,我们一台,能顶他们两台!”
“你们别叫!”
蒲伟才高高挥起了手,目光盯着持续时间后的数据,极力压制情绪的说道:“看看每秒5万滴锡滴,每秒10万次击打的情况下,这个系统能稳定工作多长时间?你们别吵,你们的噪音,可能影响到它的发挥”
所有人都安静了下来
屏住了呼吸
目光都死死盯上了持续时间
5分钟
15分钟
第29分38秒
由于累积误差越来越大,没有纠偏系统进行纠正,整个系统终于自动停止了运行
啪!
蒲伟才右拳用力轰击自己左掌,满脸涨红的说道:“3分钟就足够了,只要3分钟,就不用配套设计非常复杂的纠偏系统了,没想到它坚持了足足半个小时!我们只需设计一套非