第二十一章 真空镀膜（下）
空气泵发出一声巨响，随后传来“咣咣咣”的声响
许秋吓的一激灵，朝后缩了一下身子
等了一会儿，他感觉没什么危险，便上前检查空气泵
“看着没有问题啊”他向学姐道
“确实没问题，这是正常情况现在是发动机在通过曲轴，驱动活塞向储气筒内打气，等到储满气后，就会自动停下”
陈婉清试图绷住脸上的笑容，但是没有成功，还是笑了出来
“学姐你是故意的吧”许秋做出一副愤慨的样子
“怎么会呢，我是那样的人嘛”陈婉清笑道
许秋摇了摇头，回到总控台，继续实验
他打开总控开关，膜厚仪的数显屏幕亮起
许秋先检查膜厚仪的参数是否设置正确，包括靶材名称、密度和Z因数等
膜厚仪的原理并不是直接测量膜厚，而是通过间接法计算得到
在蒸镀过程中，靶材分子到达晶振片处，会产生电信号，经过拟合计算可将电信号转化为蒸镀速率，最后将速率与时间相乘得到膜厚
调好膜厚仪后，数显屏幕上显示：
蒸镀材料为钙，速率为埃每秒，膜厚为埃
同时，许秋观察到总控台上面有两个气压计，可以实时监测蒸镀舱内的压强
其中一个示数为一个大气压，即帕，另外一个则处于未工作状态
“为什么要安装两个气压计呢？”许秋疑惑道
“两者的压强测定范围不同，前者约为到10000帕，后者约为十的负六次方到1帕”陈婉清道，随后又补了一句：
“准备工作都好了，开始抽真空吧”
许秋点点头，按下机械泵的启动键，同时打开超真空挡板阀，又是一阵轰鸣声传来
“蒸镀操作的噪音有点大啊”习惯了之前安静实验环境的许秋，忍不住吐槽道
“是啊，不过慢慢你就会适应的”陈婉清道
机械泵启动后，气压计的示数快速减小
从，迅速变为，然后是，直至1E3帕左右，下降速度才开始变慢
过了两分钟左右，压强终于降至20帕以下，许秋关闭超真空挡板阀，打开分子泵
分子泵的转速要从0逐渐加速至后，它才可以正常工作，约需要耗时10分钟
待分子泵运转平稳后，许秋打开束源炉挡板，然后启动束源炉升温数控装置
装置的屏幕上显示有束源炉当前温度和设定温度，分别为27和30摄氏度
他打开设定界面
这块屏幕采用的是计算器上那种“日”字型的显示方法，主要用于数字显示，所以显示出来的字母都很抽象
还好都是常用的单词，许秋花了点时间弄明白每个参数的意义后，手动设定升温程序：
RATE30
SP2400
TIME3
RATE20
第一阶段，以30摄氏度每分钟的速率升至30摄氏度，等待60分钟；
第二阶段