进行后续的刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤
两个多小时之后，所有工序走完，几十片硅晶圆，变成了一千多枚封装完成的arm1芯片
刘焱、乌光辉、廉安平教授等高管和研发人员，开始动手对这批芯片进行全面测试
半小时后，所有芯片测试完成，廉安平教授对测试结果进行了汇总，最后宣布道：
“此次一微米光刻机测试，共选用了35片硅晶圆，加工过后，切割封装成1750枚芯片
经全面测试，合格产品共1203枚，合格率为68.7%也就是说，咱们光刻机研发实验室生产的第一台一微米光刻机，第一次开机测试生产，就成功了，且合格率已经达到了晶圆工厂内现有几台佳能和尼康光刻机的加工水平”
听完廉安平教授的发言，刘焱带头鼓掌，其他维创电子公司高管和研发人员，以及其他负责封装测试的员工也很快跟上，现场爆发出一阵热烈的掌声
“没想到，新设备第一次光刻测试就成功了，廉教授他们这些人真是牛”
“那是当然，光刻机研发实验室是咱们维创电子公司和z科院半导体研究所、深镇大学，共同合作建立的，里面工作的研究员，学历最低的也是硕士研究生，能不厉害吗”
“芯片生产线最核心的设备光刻机研发成功了，其他相关设备的研发难度就低多了，也许咱们维创电子公司有一天，可以生产整条芯片生产线上的所有设备”
“没那么容易，整条芯片生产线上的设备太多了，咱们维创电子不可能分心生产这么多的东西”
“第一次光刻测试，产品合格率就达到了68.7%，再做一些参数优化，将合格率提升到70%、80%，也不是不可能”
接下来，刘焱和廉安平教授等人去食堂吃了一餐迟来的午饭，然后返回无尘车间，对光刻机进行进一步的测试，包括极限加工精度测试，最高光刻速度测试，长时间压力测试等等
此后半个月，又有两台维创电子公司自产的一微米光刻机加入测试，随着设备参数的不断修改优化，一些零配件的小修小改，生产的芯片合格率已经提升到了81%作为一家刚刚成立不到半年的晶圆工厂，这个合格率已经相当高了
11月中旬，维创电子公司和z科院、深镇大学，合作研发的一微米光刻机正式定型量产
为此，三家单位特意举行了一个表彰大会，还叫来了几名报刊杂志和电视台的记者，对此进行报道
在这次的表彰大会上，对光刻机研发小组全体成员进行了通报嘉奖，所有人都获得了维创电子公司提供的一万到十万不等的奖金
在ggkf之初的八零年，rmb可是非常的坚挺，万元户即使在特区深镇也是凤毛麟角的存在
如今一大批
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